半导体制造中的废气治理,一直是行业难点。国内知名的碳化硅外延片制造商天域半导体,选择了天得一环境科技为其定制废气治理方案。
天域半导体是国内半导体行业知名的碳化硅外延片制造商。碳化硅是第三代半导体材料,广泛应用于新能源汽车、光伏逆变等领域。随着产能扩大,废气治理成为企业环保合规的重要课题。
生产过程中产生的废气成分复杂:
三类成分同时存在,单一工艺无法解决,必须采用组合治理方案。
天得一环境科技量身定制“预处理 + 酸碱塔 + 两级活性炭”组合工艺。预处理保护后续设备,酸碱塔分区吸收酸雾和氨气,两级活性炭深度吸附有机废气并安保达标。
治理效果显著: