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电路制造股份有限公司半导体废气集气管路安装治理项目案例

2026年09月09日 06:25
 

服务对象:集成电路制造股份有限公司,主营晶圆加工、集成电路芯片代工业务,生产线涵盖 CVD 薄膜沉积、刻蚀、扩散、清洗等半导体工序,生产过程产生硅烷工艺尾气、酸碱腐蚀性废气、有机挥发性废气。本次废气集气管路配套及治理工程由江苏超日净化科技有限公司承接。

诉求:厂区原有废气收集管路布局不合理,废气收集不充分,车间存在废气逸散问题;不同品类废气管路混接存在运行隐患,需重新规划、成套安装分区集气管道,同步匹配对应废气处理设备,管路需耐腐蚀、密封性强,适配洁净车间标准,保障废气完整收集、稳定输送至净化设备,满足环保与车间安全管理要求。

江苏超日净化科技有限公司重点负责全厂废气收集管路整体规划、材料加工、现场吊装铺设、密封对接、压力调试全流程安装施工,同步配套废气处理设备对接施工:

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